(原标题:SK海力士M16工厂发生氢氟酸泄漏事故 导致3人受伤但不会影响生产)
【TechWeb】4月7消息,据国外媒体报道,韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂,发生了化学品泄漏事故,导致3名工人受伤,但半导体产品的生产不会受到影响。
从韩国媒体的报道来看,发生化学品泄漏事故的,是SK海力士位于韩国利川市的M16工厂,事故发生在这一工厂的5楼,泄漏的是氢氟酸。
韩国媒体在报道中表示,泄漏事故发生时,工人正在对5楼的设备进行检查,3名工人在泄漏事故中受伤。SK海力士方面透露,泄漏事故是在检查设备时发生的,不会对生产造成影响。
氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,清澈,无色,有极强的腐蚀性和剧烈刺激性气味,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体,在半导体行业中,氢氟酸用于除去硅表面的氧化物。
发生氢氟酸泄露事故的M16工厂,是SK海力士刚刚建成的一座新工厂。SK海力士官网的信息显示,M16工厂在2018年的11月动工,工厂投资3.5万亿韩元,历时两年建成,在今年2月1日举行了竣工典礼,当时SK集团会长崔泰源、副会长崔再源、SK海力士CEO李锡熙等多位SK集团和SK海力士的高管出席了竣工仪式。
SK海力士官网的信息还显示,M16工厂建成之后,将主要用于生产DRAM产品,作为SK海力士面向未来的一座重要工厂,M16工厂还引进了极紫外光刻机,这是SK海力士首次引进这一类设备。